Durch anodische Auflösung erhaltene nano-poröse Siliziums...
Das Buch gibt einen Überblick über die Eigenschaften nanoporöser Siliziumstrukturen, die durch anodisches Ätzen von Siliziumwafern hergestellt werden, und untersucht diese. Poröses Silizium bringt neue Materialeigenschaften mit sich, die sich von denen des massiven Siliziums unterscheiden. Diese neuen Eigenschaften sind von Interesse und können in verschiedenen Bereichen wie Optik, Optoelektronik, Sensorik und Biomedizin eingesetzt werden. Das Verständnis der Dynamik und ...